Bombas de diafragma para la fabricación de semiconductores
La fabricación de semiconductores requiere manejar líquidos con características muy diferentes. Las suspensiones utilizadas en el pulido de obleas contienen partículas abrasivas, mientras que las etapas de grabado químico emplean soluciones que pueden ser altamente corrosivas. A estos materiales se suman los líquidos residuales generados durante el procesamiento y la limpieza. Cada operación plantea necesidades distintas de compatibilidad química, manejo de partículas y control de la contaminación.
Las bombas de diafragma GINKAI pueden utilizarse en determinadas operaciones de trasvase y recogida de estos fluidos. El movimiento alternativo de los diafragmas genera las fases de aspiración e impulsión y mantiene el producto separado del mecanismo de accionamiento durante el funcionamiento normal. Para seleccionar una configuración, es necesario conocer la composición del líquido, el tamaño y la concentración de las partículas, el caudal requerido y los materiales de todos los componentes en contacto con el producto.
- Rectificado y pulido de obleas: durante el rectificado se generan líquidos residuales que pueden contener partículas desprendidas de la oblea y del material abrasivo. En el pulido químico-mecánico (CMP), se emplean suspensiones formuladas con partículas abrasivas y componentes químicos. Las bombas de diafragma pueden considerarse para determinadas operaciones de trasvase o recogida de estos materiales, siempre que la configuración sea compatible con la suspensión y con los requisitos de control de partículas del proceso.
- Grabado químico húmedo: las soluciones ácidas, alcalinas y otros reactivos líquidos se utilizan para retirar material de las obleas de forma controlada. La selección de una bomba para estas operaciones debe considerar la compatibilidad de los componentes en contacto con el fluido y, cuando corresponda, los requisitos de pureza del proceso. El uso de PTFE en determinados componentes no acredita por sí solo que el equipo completo sea apto para aplicaciones de alta pureza.
- Adelgazamiento de obleas y manejo de residuos: el adelgazamiento puede combinar rectificado, pulido y grabado químico, con distintas corrientes de líquidos residuales. Las bombas de diafragma pueden emplearse en determinadas tareas de transferencia o recogida de suspensiones, soluciones de proceso y líquidos de desecho, según sus propiedades y las condiciones de bombeo. Los fluidos residuales deben evaluarse por separado de los productos destinados a entrar en contacto directo con las obleas.